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《生命科学仪器》
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2011年4期
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我国研制成功光学膜厚智能测控仪
我国研制成功光学膜厚智能测控仪
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摘要
近日,成都中科唯实仪器有限责任公司技术研发部门通过自主设计,完成光学膜厚智能测控仪研发任务。传统的光学镀膜采用极值法膜厚监控方式,正确判定极值点是镀膜操作人员的重要操作技术,
DOI
pd5mz8ygj7/1000671
作者
机构地区
不详
出处
《生命科学仪器》
2011年4期
关键词
智能测控仪
光学镀膜
膜厚
操作技术
自主设计
监控方式
分类
[机械工程][精密仪器及机械]
出版日期
2011年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
生命科学仪器
2011年4期
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