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我国研制成功光学膜厚智能测控仪

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摘要近日,成都中科唯实仪器有限责任公司技术研发部门通过自主设计,完成光学膜厚智能测控仪研发任务。传统的光学镀膜采用极值法膜厚监控方式,正确判定极值点是镀膜操作人员的重要操作技术,

DOI pd5mz8ygj7/1000671

作者

机构地区不详

出处《生命科学仪器》 2011年4期

关键词智能测控仪光学镀膜膜厚操作技术自主设计监控方式

分类 [机械工程][精密仪器及机械]

出版日期 2011年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）