摘要
DiffusionofAlinthinfilmnanocrystallineCu(18nm)hasbeeninvestigatedbymeansofsecondionmassspectroscopy(SIMS).Intheexperimentaltemperaturerangesfrom421to773K,thereseem-inglyexiststwodiffusionmechanisms.TheimpurityelementsOandCaresupposedtoaccumulatetothegrainboundariesandinhibitthefastgrainboundarydiffusion.
出版日期
1993年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)