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超大规模集成电路生产厂的供配电设计

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摘要 1.概述超大规模集成电路产业是我国重点发展及政策扶持的产业之一,是电子工业的基础性产业和事关国家经济发展水平和综合实力的战略性产业。而超大规模集成电路生产工厂特别是芯片(晶圆)厂更是电子工业中投资及技术高度密集的工厂。近年来,随着计算机及通信、信息

DOI 54yrr7v1d0/2081176

作者杨天义

机构地区不详

出处《电气工程应用》 2003年2期

关键词超大规模集成电路生产厂电子工业投资经济发展供电配电

分类 [电气工程][电力电子与电力传动]

出版日期 2003年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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电气工程应用

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