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130:88516j 含有X射线发生器和探测器的化学蒸气气相淀积(简称CVD)设备,以及它们在摆动曲线探测方面的应用
130:88516j 含有X射线发生器和探测器的化学蒸气气相淀积(简称CVD)设备,以及它们在摆动曲线探测方面的应用
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摘要
在本文所述的仪器的反应炉表面的一部分或整个装置反应炉表面上,形成了一个窗口,X射线即喷射到反应炉面上的一层薄膜上(例如是磷化镓或磷化镓砷),这样X射线发生的散射线被检测出来。X射线发生器和检测器围绕着反应炉转动,这样使得薄膜与X射线间的夹角与薄膜与衍射线之间的夹角之比值保持2:1,使得研究者可以现场进行观测。(指对摆动曲线或者薄膜的晶格配置的观测)。
DOI
17j6o87rj0/281818
作者
华小西;付玉信
机构地区
不详
出处
《磷酸盐工业》
2005年1期
关键词
反应炉
气相
薄膜
蒸气
发生器
X射线
分类
[化学工程][无机化工]
出版日期
2005年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
磷酸盐工业
2005年1期
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