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温度实时补偿的高精度压力传感器刘勇

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摘要摘要压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压力传感器件，其特点是体积小、精度高、稳定性好，被广泛应用于电力、石化、汽车电子等领域。但作为其核心的膜片，对温度变化敏感，进而造成传感器的零点和灵敏度发生温度漂移，根据传感器的硬件特性进行补偿的传统方法有调试困难、精度低、通用性差等缺点，不利用工程实际应用。而补偿技术则可以较好地解决这些问题，因而得到越来越多的重视。本文分析了温度实时补偿的高精度压力传感器。

DOI pd53vlk247/3570671

作者刘勇

机构地区（中国电子科技集团公司第49研究所黑龙江省哈尔滨市150001）

出处《电力设备》 2017年27期

关键词温度实时补偿高精度压力传感器方法

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2017年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

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