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FSI技术提高芯片制造成品率

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摘要 FSI国际有限公司日前宣布，在上月于以色列、意大利、法国和德国举办知识服务系列研讨会（KSS）上，公司多家客户的专题报告中肯定了FSI清洗技术在芯片制造中对成品率的提高起到了显著的作用。包括意法半导体、NumonyxB．V．、Tower半导体有限公司、奇梦达、CEALeti在内的FSI客户，都在其报告中对基于FSI创新型清洗产品的先进工艺进行描述，并提交了多种不同生产应用中的成品率提升数据记录。

DOI ojzlqm8zd5/615870

作者

机构地区不详

出处《数字通信世界》 2008年8期

关键词 FSI技术芯片成品率信息技术

分类 [电子电信][通信与信息系统]

出版日期 2008年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）