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多晶硅生产技术中冷氢化的应用

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摘要摘要：多晶硅是光导产品生产过程中较为重要的原材料，在推动电子信息产业发展过程中有着较为重要的作用。但是在进行多晶硅产品生产过程中，往往会生成四氯化硅的副产物，四氯化硅不能实现二次利用，在造成较为严重的环境污染的同时，也造成了较为严重的资源浪费。引入冷氢化技术在多晶硅生产中的应用，能够实现对四氯化硅副产物的有效转化。因此，加强冷氢化技术在多晶硅生产中的应用分析、探讨，有着至关重要的现实意义。

DOI lj19pnwg4v/6507620

作者陈林

机构地区江苏鑫华半导体科技股份有限公司

出处《中国科技人才》 2022年12期

关键词多晶硅四氯化硅冷氢化作用

分类 [][]

出版日期 2022年10月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）