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浅谈氧化镓肖特基二极管的发展

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摘要摘要：肖特基二极管作为一种重要的功率二极管，广泛应用于电力电子线路的整流器和直流转换器中。宽禁带半导体材料氧化镓（Ga2O3）由于其拥有超大的禁带宽度，高击穿场强，可调的n型掺杂浓度和低成本的单晶生长技术，因而非常适合制作功率肖特基二极管。但是目前氧化镓的研究还处于初期，更大尺寸高质量单晶材料的制备、器件结构和工艺的优化等重要问题仍需探索并解决。本文通过统计、分析氧化镓肖特基二极管的中国专利申请，梳理了其研究进展。

DOI rdxm696k4l/6581301

作者邢潇楠

机构地区国家知识产权局专利局专利审查协作湖北中心湖北省武汉市：430070

出处《中国科技信息》 2022年9期

关键词氧化镓肖特基二极管

分类 [][]

出版日期 2022年11月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）