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《中国照明文摘》
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2009年1期
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红外线与紫外线
红外线与紫外线
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摘要
红外发光二极管辐射强度的测量;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究.
DOI
n490w5x94y/666135
作者
机构地区
不详
出处
《中国照明文摘》
2009年1期
关键词
紫外线
红外线
红外发光二极管
等离子体光源
远紫外光刻
辐射强度
分类
[电气工程][电力电子与电力传动]
出版日期
2009年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国照明文摘
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