标准测试数据格式(STDF)文件的研究

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摘要 介绍了半导体测试中的良率数据记录格式。阐述了标准测试数据格式(STDF)的优点以及结构。给出了将STDF用于半导体测试过程中,以减少花费、增加效率、缩短良率提升时间测试数据标准化的新思路。
作者 袁薇
机构地区 不详
出处 《电子元器件应用》 2009年4期
关键词 测试 STDF FAR 良率
出版日期 2009年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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