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集成光学光电集成与器件

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摘要 TN2562005021205一种新型微变形镜键合技术=Bondingprocessforanovelmicro-deformablemirror[刊,中]／余洪斌(华中科技大学光电子工程系．湖北,武汉(430074)),陈海清…//光电工程．-2004,31(8)．-12-14,22对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100％。

DOI 54k11z12dk/695857

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2005年2期

关键词镜面优化设计级联二阶非线性有效面积器件全光开关

分类 [理学][物理]

出版日期 2005年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国光学

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