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极紫外啁啾多层膜反射镜的拟合分析

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摘要设计并制备了极紫外啁啾多层膜反射镜,利用同步辐射反射率测试装置完成了样品反射率的测试,采用单纯形算法拟合了反射率测试曲线,分析了顶层Si的氧化对拟合结果的影响。拟合结果表明,2块样品的Si-on-Mo粗糙度为0.4nm和0.5nm,Mo-on-Si粗糙度为0.8nm和0.9nm,顶层Si的氧化是影响极紫外啁啾多层膜反射镜反射率的重要因素。

DOI 5jooxnz6jv/714436

作者陈锐;袁艳红;赵华

机构地区不详

出处《上海电机学院学报》 2009年1期

关键词薄膜光学啁啾多层膜反射镜单纯形算法亚飞秒脉冲

分类 [电气工程][电机]

出版日期 2009年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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