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多晶硅生产中副产物SiCl4的综合利用

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摘要在氯化氢（HCl）合成制备三氯氢硅（SiHCl3）过程中，除主要产品SiHCl3外，还有大约15％左右的四氧化硅（SiCl4）副产品，另外还有二氯氢硅（SiH2Cl2）等。在SiHCl3氢还原中，还伴随有SiHCl3的热分解而生成的SiCl4、SiH2Cl2和HCl等，

DOI pd5xllqw47/764771

作者肖顺珍;蒋云华

机构地区不详

出处《新材料产业》 2009年7期

关键词 SiCl4 多晶硅综合利用副产物 SiH2Cl2 生产

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2009年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

新材料产业

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