简介：采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅片、20Cr和Cr12W表面制备了梯度变化非晶碳涂层，测试了非晶碳涂层的纳米硬度和弹性模量及摩擦磨损行为。结果表明：涂层具有较高的硬度和弹性模量，分别达到15．3GPa和184GPa；涂层具有较好的摩擦性能，在干摩擦条件下摩擦因数基本保持在0．1～0．2，磨损率达到10^-9mm^3／（N·m）数量级。
梯度变化非晶碳涂层的摩擦学行为
