简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:摘要:当前,大学生职业生涯规划和就业工作是教育领域和社会的核心议题。在当今社会日新月异、就业竞争日益激烈的背景下,大学生的职业选择和规划显得尤为重要。通过提升大学生就业质量可以优化学生的职业生涯规划教育,学生可以更好地为未来的职业发展做好准备,提高自己的就业竞争力本文就就业质量提升优化大学生职业生涯发展教育进行了论述。