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  • 简介:Inthisstudy,micro-hollowcathodedischarge(MHCD)isinvestigatedbyafluidmodelwithdrift-diffusionapproximation.TheMHCdeviceisacathode/dielectric/anodesandwichstructurewithoneholeofadiameterD=200μm.ThegasisaNe/Xemixtureatapressurep=50~500Torr.Theevolutionsofthedischargeshowthattherearetwodifferentdischargemodes.AtlargerpDthedischargeplasmaandhighdensityexcitedspeciesexpandalongthecathodesurfaceand,aringeddischargemodeisformed.AtsmallerpD,thedischargeplasmaandtheexcitedspeciesexpandalongtheaxisofthecathodeaperturetoformacolumnardischarge.

  • 标签: 微空心阴极放电 放电模式 放电等离子体 近似模型 移动设备 夹层结构
  • 简介:Electricalpropertyofamicro-plasmaspraysystemwithdifferentworking-gasfeedingschemeswastestedtooptimizetheplasmasprayprocess.Thearcvoltagewithanintegratedgasinjectionmodeishigherthanthatwithradialinjectionoraxialinjectionmodes.Thus,anintegratedgasinjectionmodewithanexcellentelectricalcharacteristicwasadoptedtodepositalumina-titaniacoating.Themicrostructure,bondingstrengthandhardnessoftheplasmasprayedalumina-titaniacoating,asafunctionofthesprayingparameters,e.g.,plasmacurrent,gasflowrateandgaspressure,werestudied.Itwasshownthatthesprayingparametersaffectedremarkablyontheinicrostructureofthecoating.Differenttendenciesinbondingstrengthandhardnesswerealsoshownfordifferentsprayingparameters.Atanarccurrentof250A,agasflowrateof20L/rninandagaspressureof0.5MPa,thebondingstrengthandmicro-hardnessofthecoatingsreach40.6MPaandHV1406.1,respectively.

  • 标签: 二氧化钛涂层 微观结构参数 等离子体喷涂 喷涂参数 氧化铝 力学性能
  • 简介:对K3±δC60多晶薄膜进行了同步辐射光电子谱研究。入射光子能量为17-86cV。实验发现K3±δC60光电子谱的HOMO-1,HOMO及LUMO等导出能带的谱峰强度均随入射光子能量的增加而呈现振荡的性质,与纯C60的光电子谱峰随入射光子能量变化的趋势相似。结果C60分子独特的笼状几何结构,认为其电离截面的变化是由于K3±δC60的末态电子在C60分子笼内形成球状驻波引起的。以驻波的边界条件为基础进行理论计算,得到的电离截面极小值对应的光子能量与实验得到的结果符合良好。

  • 标签: K3C60 光电离截面 电子角动量 球状驻波 多晶薄膜 富勒烯
  • 简介:根据K在C60晶体中的扩散系数分析了在C60(111)单晶解理面上制备K3C60单晶膜的实验条件。对制备出的样品进行了角分辨光电子谱研究。结果表明样品确实为K3C60单晶,并首次观察到K3C60的能带色散。

  • 标签: 制备 表征 K3C60 单晶薄膜 角分辨光电子谱 能带色散
  • 简介:测量了C60单晶(111)解理面法向发射的角分辨光电子谱。利用同步辐射光源研究了对应于分子轨道HOMO及HOMO-1的能带的色散关系。实验观察到HOMO和HOMO-1能带在Г-L方向存在明显的色散,最大色散分别为0.27eV和0.42eV色散曲线与理论电子结构基本符合。

  • 标签: C60单晶 价带色散 同步辐射 光电子谱 富勒烯 电子结构
  • 简介:在C60单晶(111)解理面上制备出厚度约30mm的K3C60单晶膜。利用同步辐射光源,在低温下(约150K)测量了样品法向发射的角分辨光电子谱。观察到K3C60导带和价带明显的色散。导带的光电子谱峰可清晰分辨出4个子峰,这些子峰的最大色散超过0.5eV,并且色散曲线与K3C60的一维无序晶体结构模型下的能带理论基本吻合,只是子带间隔差异较大。

  • 标签: K3C60 单晶薄膜 同步辐射 角分辨光电子谱 导带结构 能带理论
  • 简介:ThisworkinvestigatedC2F6/O2/ArplasmachemistryanditseffectontheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kdielectricsin60MHz/2MHzdual-frequencycapacitivelycoupleddischarge.FortheC2F6/Arplasma,theincreaseinthelow-frequency(LF)powerledtoanincreasedionimpact,promptingthedissociationofC2F6withhigherreactionenergy.Asaresult,fluorocarbonradicalswithahighF/Cratiodecreased.Theincreaseinthedischargepressureledtoadecreaseintheelectrontemperature,resultinginthedecreaseofC2F6dissociation.FortheC2F6/O2/Arplasma,theincreaseintheLFpowerpromptedthereactionbetweenO2andC2F6,resultingintheeliminationofCF3andCF2radicals,andtheproductionofanF-richplasmaenvironment.TheF-richplasmaimprovedtheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kfilms,leadingtoahighetchingrateandasmoothetchedsurface.

  • 标签: 等离子体化学 放电特性 蚀刻 薄膜 双频率 功率LED