简介：摘要：随着信息技术的飞速发展，集成电路作为现代电子产业的基石，其重要性日益凸显。本文综述了集成电路核心工艺装备技术的现状并探讨了未来发展趋势与挑战。文章旨在为相关领域的研究人员和企业提供参考，促进集成电路技术的持续创新与发展。
集成电路核心工艺装备技术的现状与展望
