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  • 简介:文章基于Mintab软件,运用Precision5000等离子刻蚀技术研究0.8μm多晶刻蚀中功率、压力、HBr流量、Cl2流量对刻蚀效果的影响。获得了四个因素对刻蚀效果影响的主次关系,同时由Mintab软件分析获得了各因子效应的pareto图,各因素对多晶条倾斜角度影响的主效应图,各因子对刻蚀效果的正态分布图,并拟合获得了多晶刻蚀的最优化条件。运用最优化条件刻蚀多晶,其结果表明剖面倾斜角度及表面形貌均能达到MOS器件的工艺制造要求。

  • 标签: 多晶刻蚀 倾斜角度 最优化条件 等离子
  • 简介:在亚微米工艺中,多晶TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶上的生长。文章采用多晶上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶特性。

  • 标签: 硅化钛 多晶栅 掩蔽层
  • 简介:曾经去过两个古镇——周庄和同里,总感觉周庄过于商业化,遮盖了古朴的气息,而同里又过于古旧,让人感觉有些破败。我便以为古镇都不过如此,可当我身处乌镇的时候,我发现它远远地出乎我的想象。

  • 标签: 商业化 同里 周庄 古镇 感觉 乌镇
  • 简介:乌镇是一枝莲,东、西、南、北是它张开的仡瓣。东因为天光和娴火气盛,这片花瓣在我眼里是银粉色的。西呢,被不绝的流水环绕着,那层层叠叠的楼台水阁,迷宫似的灰街长巷,也就有了舟楫的气象,似乎你轻轻一推,它们就会起航。

  • 标签: 中学教育 语文 阅读 《西栅的梆声》
  • 简介:3年来,每当月到中秋.江西人都会目睹本土两家食品企业的一场“战争”——为争夺更多的月饼市场.江西龙冠食品有限公司(以下简称为“龙冠”)和江西乔家食品有限公司(以下简称为“江西乔家”)生死相拼.从广告宣传到终端卖场.两者无不针锋相对,寸土必争。同样的情形,在2006年的中秋也不会例外。

  • 标签: 月饼市场 食品企业 江西人 终端卖场 广告宣传 简称
  • 简介:IGBT是一种新型的电压控制型电力半导体器件,伴随太阳能、风能、汽车电子等新能源时代的到来,IGBT在现代电力电子技术起着核心作用,而IGBT的驱动设计是IGBT的应用首要前提,本文研究IGBT驱动电压,驱动功率和驱动电阻的设计,以及通过试验证明不同驱动电阻的驱动条件下对IGBT应用的影响。

  • 标签: IGBT 栅电压 驱动功率 驱动电阻
  • 简介:从上海抵乌镇已是正午。春日的太阳像少女的脸,温润而不失热切。排着长队搭上从西游客中心往安渡坊的船。一湾碧水中,艄公懒懒地摇着橹,沿岸的树绿得晃人眼目。记起儿时读过贺知章的诗:"碧玉妆成一树高,万条垂下绿丝绦。不知细叶谁裁出,二月春风似剪刀"。好一个二月,经过了许多的春,看过了无数的柳,几乎忘却了"伤春"的我,面对西元宝湖畔的柳竟是感动起来。

  • 标签: 游客中心 贺知章 乌镇
  • 简介:乌镇是一枝莲,东、西、南、北是它张开的花瓣。东因为天光和烟火气盛,这片花瓣在我眼里是银粉色的。西呢,它被不绝的流水环绕着,那层层叠叠的楼台水阁,迷宫似的灰街长巷,也就有了舟楫的气象,似乎你轻轻一推,它们就会启航。在

  • 标签: 《西栅的梆声》 中学 语文 阅读教学
  • 简介:利用惠更斯-费涅耳原理得出任意光栅衍射的光强公式,讨论2种特殊光栅的光强分布特点.

  • 标签: 光栅 栅距 光强
  • 简介:IBM一研究组(位于纽约的TJWatson研究中心)介绍了他们研制的长160hm的InGa4sMOSFET.也是为了评价当长与现代Si同类器件相当时,需要解决的关键问题。研究人员着手解决表面态问题,

  • 标签: MOSFET IBM 研究人员 表面态 器件 SI
  • 简介:阵列技术已经激起了电子行业的人们强烈的兴趣.随着人们的目光愈来愈多地关注于BGA器件的组装的时候,对BGA器件进行组装时所产生的清洗和干燥的问题受到了人们广泛的关注,各种各样的BGA器件和焊膏需要采用合适的清洗处理方法.

  • 标签: 球栅阵列器件 清洗 电子行业 BGA器件 组装 表面贴装技术
  • 简介:在母亲珍藏的为数不多的“家宝”中,有一件她最青睐的宠物,那就是与她相伴了六十多年的针儿。我懂得母亲的心,深深知道,那针儿与母亲相伴所经历的缝缝补补的清贫岁月,那里面装满了她的辛劳、慈爱和对子女的期望。

  • 标签: 针栅 风俗习惯 文化传统 中国
  • 简介:多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;

  • 标签: 多晶硅 单晶硅 晶面取向 物理性质 力学性质 各向异性
  • 简介:摘要本文揭示了四种不同种类的本质安全的工作原理,并阐述了各自的优缺点,给设计工作者提供电路选型,同时对防爆电源本安的负载瞬态特性进行了分析,找到了设计防爆电源本安需重点权衡的关键因素,并提供了进行电路设计、负载瞬态特性测试的几点建议。

  • 标签: 本安栅 过压保护 过流保护 负载响应
  • 简介:请不要采摘它们,不要践踏它们,证它们尽情地开吧,让它们展示自己的美.丽,它们都是春妈妈的娃娃。我家庭院里,有一株老葡萄树。秋风吹起,棚架上挂着的一串串葡萄变得又红又紫,像一颗颗讨人喜欢的玛瑙,沁吐着甜甜的香味。

  • 标签: 小学 课外阅读 阅读材料 《葡萄栅下(外一篇)》
  • 简介:摘要:随着光伏产业的蓬勃发展,国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一,生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代,加上电价政策和光伏补贴因素的影响,各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而,在高质量电子多晶硅的生产中,由于缺乏可靠的技术支持,他们一直进展缓慢。基于此,以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨,以供参考。

  • 标签: 多晶硅国家标准 电子级多晶硅 生产控制要点
  • 简介:摘要:随着光伏产业的蓬勃发展,国内多晶硅行业短短十几年就达到了产量世界第一,生产成本世界先进。在多晶硅行业规模经济时代,加上电价政策和光伏补贴因素的影响,各多晶硅厂商进入加速淘汰阶段。然而,在高质量电子多晶硅的生产中,由于缺乏可靠的技术支持,他们一直进展缓慢。基于此,以下对结合多晶硅国家标准浅析电子级多晶硅生产控制要点进行了探讨,以供参考。

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