简介:FastFouriertransformspeechscrambler;Hoppingandcorrelationeffectsinatomicclustersandnetworks;INCREASEININSOLATIONINTENSITYANDENERGYGAINOFSOLARCONVERTORSBYUSINGREFLECTIONOFSOLARBEAMS;OverviewofNASAmulti-dimensionalstirlingconvertorcodedevelopmentandvalidationeffort;Reliabilityassessmentapproachforstirlingconvertorsandgenerators;Stateandperspectivesofdevelopmentofhybridtransducersofopticalimages;
简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。
简介:《专家点评》是"电力电子"杂志的重要特色栏目之一。我们将邀请电力电子行业中的知名专家,分别就运动控制、变换电源和电力电子元器件等电力电子主要分支中的某篇关键论文发表点评文章,进行导读,每期一篇。这些论文均由专家推荐,其内容基本上属两大范畴——[前沿]和[经典]。[前沿]介绍当今或今后国际上电力电子技术正在或将要开拓的热点课题,已经取得的成果,尚存的困难与问题,以及最新进展情况和文献。[经典]则是把世界上电力电子技术发展进程中称得上是里程碑式的技术精典论文予以重载,由专家分析这篇论文的主要贡献、对行业发展所起的作用、作者生平简介等。在专家点评文章的后面,我们以附录形式刊出被点评论文的详细译文摘要,以飨读者。希望本栏目能为国内从事电力电子研究、开发、生产、经营、推广的同行朋友,特别是年青科技人员了解前沿动向,了解专业历史提供方便。欢迎读者提出感兴趣的题目,推荐相关论文,以至提供自己的点评文章,我们亦将择优发表,与电力电子领域的同仁共享。《电力电子》编辑部
简介:利用储能电感的5种功率放大效应:(1)高频放大,(2)磁路并联放大与(5)电感空气隙串联放大,来达到:(1)功率因数=O.999,(2)低干扰,(3)高可靠。