简介：光刻胶剖面形貌和关键尺寸（CD）是光刻工艺的关键参数，而实际光刻工艺中受到前层次图形的影响，尤其是后端布线工艺受到前面工序高低台阶影响十分严重。文章基于光学干涉原理及King的胶厚理论模型和光刻胶SwingCurve曲线研究了光刻胶跨越高台阶对成像的影响，分析了造成光刻胶剖面和关键尺寸变化的主要原因。一是台阶处衬底的反射影响了光刻胶剖面形貌；二是高台阶处光刻胶厚度比正常厚度变薄导致光刻曝光条件不适用于高台阶处光刻胶。最后通过优化胶厚及增加底部抗反射层有效解决CD差异和改善光刻胶形貌。

简介：目前,随着手机支付的不断普及,指纹识别技术除解锁之外,还被广泛应用于移动支付等领域。然而,许多不法分子可以在十分钟内窃取和制作出一套假指纹膜解锁他人的手机,给移动支付的安全性带来巨大挑战。近日,汇顶科技在深圳举行新品发布会,重磅发布由其自主研发的活体指纹识别解决方案,也是新一代单芯片指纹识别方案。该方案可以通过指纹、手指皮肤颜色以及心率信号等用户的生物特征来验证用户的真实身份,从而识别并拒绝伪造或克隆的假指纹,推动移动支付安全迈上新台阶。

简介：网络安全审查不但不会对国外产品进入中国市场造成障碍,反而会因审查制度的实施,提高用户对产品安全性的信心,网络审查既是对用户负责,更是对网络产品及服务提供者负责。日前,国家互联网信息办公室起草了《网络产品和服务安全审查办法（征求意见稿）》（以下简称《审查办法》）,明确规定将对网络产品和服务进行网络安全审查。网络安全的顶层设计渐趋完善如今,随着网络全球化发展,

简介：发改委综合运输研究所副所长汪呜在日前举行的首届中国物流投融资年会上透露，作为物流产业调整和振兴规划的细化政策，包括煤炭物流在内的六大专项规划的制订工作已近尾声，并将于近期出台。

简介：1月22日，中国卫通2013年度工作会议在北京召开。大会传达了航天科技集团公司第五次工作会暨2013年年度工作会精神，以“面向市场、真抓实干，努力实现中国卫通科学发展再上新台阶”为主题，全面总结了卫通2012年工作，系统部署了2013年主要任务。