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关于CrN基涂层的研究进展

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摘要有关于CrN涂层的研究已经有很多,过渡金属和非金属的掺入会大大影响CrN涂层的物理化学性能.在制备的过程一般采用的是PVD技术如多弧离子镀、磁控溅射和离子喷射等方法.根据研究的趋向,为了改善CrN涂层中的柱状晶结构,未来的研究趋势是追求多元多层纳米复合涂层.本文将从二元涂层CrN、三元涂层CrSiN、四元涂层CrSiAlN和CrSiON进行综述近年来的最新研究.

DOI wjvr6r6647/1800250

作者梁进觉;陈诗敏;孔少于;薛书文;邹长伟

机构地区不详

出处《岭南师范学院学报》 2017年6期

关键词 CRN CrSiN CrSiAlN CrSiON

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2017年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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岭南师范学院学报

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