有关于CrN涂层的研究已经有很多,过渡金属和非金属的掺入会大大影响CrN涂层的物理化学性能.在制备的过程一般采用的是PVD技术如多弧离子镀、磁控溅射和离子喷射等方法.根据研究的趋向,为了改善CrN涂层中的柱状晶结构,未来的研究趋势是追求多元多层纳米复合涂层.本文将从二元涂层CrN、三元涂层CrSiN、四元涂层CrSiAlN和CrSiON进行综述近年来的最新研究.
岭南师范学院学报
2017年6期
