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核孔膜的非常规蚀刻法

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摘要不对称蚀刻法的分桥表明，在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示，由于孔径不均匀现象的制约，核孔膜的孔径可减小到1／2。温度梯度蚀刻法的分桥表明，导通时间的减小与膜两面的温度差成正比，在实际条件下孔径减小到1／5。模拟计算表明，采用该方法可得到控状孔核孔膜，但蚀刻过程很难控制。

DOI 34g2e9xoj9/2051631

作者彭良强;巨新;王世成;冼鼎昌;李涛;张宝亭

机构地区不详

出处《北京同步辐射装置：英文版》 2001年2期

关键词核孔膜非常规蚀刻法不对称蚀刻法温度梯度蚀刻法模拟计算

分类 [理学][物理]

出版日期 2001年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）