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  • 简介:不对称蚀刻法的分桥表明,在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示,由于孔径不均匀现象的制约,核孔膜的孔径可减小到1/2。温度梯度蚀刻法的分桥表明,导通时间的减小与膜两面的温度差成正比,在实际条件下孔径减小到1/5。模拟计算表明,采用该方法可得到控状孔核孔膜,但蚀刻过程很难控制。

  • 标签: 核孔膜 非常规蚀刻法 不对称蚀刻法 温度梯度蚀刻法 模拟计算