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国际器件与系统路线图对半导体工厂集成标准化的启示

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摘要摘要：2022版国际器件与系统路线图中的工厂集成白皮书对半导体行业未来的工业化发展提供了标准应用建议以及标准化趋势预测，对于我国的半导体标准化活动具有重要的借鉴意义。

DOI g4q92k2oj8/6728400

作者何旻哲

机构地区（广东省标准化研究院）

出处《当代电力文化》 2022年18期

关键词半导体工厂集成路线图标准化

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2023年01月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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当代电力文化

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