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国际半导体技术发展路线图（ITRS）2013版综述（4）

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摘要 14建模与模拟14．1范围建模与模拟技术覆盖被称为扩展TCAD的半导体建模区域，它是数个使能方法之一，可以减少开发周期和成本。本文中的扩展TCAD覆盖下列典型区域，如图MS1所示：

DOI 0dp6rl5xj2/1465821

作者黄庆红;黄庆梅

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2014年12期

关键词半导体技术路线图综述国际 TCAD 模拟技术

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2014年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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半导体技术路线图综述国际 TCAD 模拟技术

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