国际半导体技术发展路线图（ITRS）2013版综述（4）-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2014-12-22

作者: 黄庆红;黄庆梅

电子电信 >微电子学与固体电子学

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14建模与模拟14．1范围建模与模拟技术覆盖被称为扩展TCAD的半导体建模区域，它是数个使能方法之一，可以减少开发周期和成本。本文中的扩展TCAD覆盖下列典型区域，如图MS1所示：

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中国集成电路

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