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集成电路湿法工艺及湿法设备制造技术探析

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摘要摘要：集成电路制造中，湿法工艺指需要用到化学药剂的工艺，工艺的合理应用对于集成电路的性能和质量影响巨大。从集成电路的内涵出发，分析了集成电路湿法清洗、湿法去胶和湿法刻蚀工艺，针对湿法设备制造技术进行了探讨，并且以湿法刻蚀工艺为例，对其应用实践进行了阐述。

DOI pd597vr247/6936671

作者施龚伟

机构地区上海华力集成电路制造有限公司上海市浦东新区 201314

出处《中国科技信息》 2023年2期

关键词集成电路湿法工艺湿法设备制造技术

分类 [][]

出版日期 2023年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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