SiliconLabs（芯科实验室有限公司）日前宣布推出业界最高集成度基于MEMS的Si50x振荡器，旨在替代需要低成本、低功耗和批量生产的工业、嵌入式和消费类电子应用中的通用型晶体振荡器（XO）。新型Si50x振荡器基于SiliconLabs专利的CMEMS@技术，此为首个在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS＋MEMS”单芯片解决方案。
中国集成电路
2013年7期
