微米级膜层厚度的测量方法-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2013-03-13

作者: 张玲;杨争;王毅哲;东卫红

机械工程 >机械制造及自动化

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利用扫描电镜对磷化处理轴承零件的磷化膜层进行了观察，并对磷化膜深度进行了测量。经分析得知利用扫描电镜的测量功能对磷化膜层深度进行测量是可行的，得到了一种微米级磷化膜层深度的测量方法。

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轴承技术

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扫描电镜磷化膜层测量方法

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