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《河北工业大学学报:社会科学版》
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1999年1期
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膜厚测量设备检定方法的尝试
膜厚测量设备检定方法的尝试
(整期优先)网络出版时间:1999-01-11
作者:
李锁印;崔琳
文化科学
>教育学
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资料简介
本文就微电子行业中膜厚测量设备的检定方法做了大胆的尝试。自己制做了若干标准块,达到使用要求。
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本文就微电子行业中膜厚测量设备的检定方法做了大胆的尝试。自己制做了若干标准块,达到使用要求。
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河北工业大学学报:社会科学版
1999年1期
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测量设备
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