“半导体工艺”是一门理论与实验结合紧密的课程，通过TCAD虚拟平台开展实验教学，可节约成本、减少实验时间，可增强教学的直观性、提高教学效果，还可激发学生学习兴趣，增强实践、创新能力。
安徽工业大学学报：社会科学版
2015年3期
