上海某微电子设备公司主要承担研制和生产高端集成电路制造设备。该公司研发和生产基地位于上海市张江高科技园区内，包括装配试验车间、精密机加工车间、维修车间、办公研发楼等。装配试验车间是其核心部分，要求净化及恒温恒湿。本文简介其净化空调的空气处理。
空调暖通技术
2004年2期
