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《中国半导体》
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8”芯片生产厂超纯水系统设计浅析
8”芯片生产厂超纯水系统设计浅析
(整期优先)网络出版时间:2003-01-11
作者:
吴晔榴
电子电信
>物理电子学
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资料简介
本文以8"芯片生产厂超纯水系统为实例,浅析250T/h以上的大规模超纯水系统和管网的设计,并就施工中的质量和安全管理作一些探讨。
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本文以8"芯片生产厂超纯水系统为实例,浅析250T/h以上的大规模超纯水系统和管网的设计,并就施工中的质量和安全管理作一些探讨。
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