半导体厂的气体与化学品管理分析

半导体厂的气体与化学品管理分析

常宜龙

北京中凯达自动化工程有限公司 北京 102600

摘要：对于半导体厂而言，利用的气体或是化学品具有多种种类，由于制程变化或是产品线变更，经常会存在制程变更需求。从管理角度讲，需要花费一定的心思降低气体与化学品对人身造成的伤害。文章提出相关管理对策。

关键词：半导体厂；气体；化学品管理；全面气体化学管理；TGCM(Total Gas and Chemical Management)

对于半导体行业而言，占据着战略地位。在半导体工业利用中，特种气体称之为电气，在一定程度上讲，电子气是半导体生产工业中最为常见的原材料，电子特种气体利用量逐渐提高，对气体气源柜需求逐渐上升。纵观我国发展，半导体行业是极为关键的电子信息产业，但一些特种气体气源柜都以进口为主。国外部分发达国家特种气体气源柜为成熟阶段，规格占据主导权，不管是材料掌控，还是专利技术具备一定的优势。国内特种设备开发具有落后性，和以往半导体行业滞后具有紧密的联系。

1. 物质安全资料表 全面气体化学管理，TGCM。

从管理角度讲，完善MSDS，利于公司对带有危害标示的网络数据进行查询。在这样的基础上，从业安全人员从中获得信息外，设备与厂务人员也可以得到所需要的信息，相关人员对处理气体，或是化学物质危危害性具有全面性认识。将危害标示在储藏区内进行张贴，或是张贴在使用场所。在应急中心时刻准备MSDS手册，控制室相关场所也应有备无患。

2. 制程变更管理 全面气体化学管理，TGCM。

在变更管理中，包含化学物质新增与变更风险评估机制等。此外，对化学品利用与法令规范是否吻合进行变更，是否存在危害和相关危害防范对策。是否和已有制程化学品存在不兼容反应这样的情况。

3. 大型储槽 全面气体化学管理，TGCM。

对于压力容器来讲，以锅炉和压力容器安全规则为基准，进行办理最终获得合格证。如果利用量高于危险性工作场所审查，应依法进行检查。储槽应设定液位报警与液位计，定期对储槽沉陷情况进行检查。不兼容化学品灌装口，含有一定的区隔，包含灌装接头，槽车码头具备防溢排液系统。

4. 化学品仓库与气体 全面气体化学管理，TGCM。

对于不兼容的气体，或是化学品而言，应为分开放置这样的状态。在抽气气瓶柜中，将气体钢瓶置于其中，保证极为固定 。毒性气体钢瓶柜中，设置毒性气体侦测器。对于易燃气体储存柜来讲，将洒水系统加以设置，此外，储存室中，包含泄爆设计。

5. 化学品与气体中央供应机制 全面气体化学管理，TGCM。

在室内包含机械通风排气。而在气瓶柜或是化学供应柜中，将原料名称标识其中，并标识相关事项与输送对象设备。气瓶柜上将遮断阀安装其中，目的是为了当出现泄漏时起到遮断作用。基于具备较高的危险气体，进行双套管配置，对液管路进行研磨，在这个过程中，关注管路尺寸防止存在死角的情况，防止干涸结晶。

6. 无尘室化学品管理 全面气体化学管理，TGCM。

在无尘室内，将化学品存放其中，一般以每日用量为基准，在一定时间内，对领用情形进行记录，根据移除停用化学品，或是利用具体情况降低储存量。基于易燃液体应在防火柜中，大瓶装液体在安全场所内进行分装，为小瓶状态才能在现场利用。相关化学品应进行防溢承盘，容纳最大局限的泄漏量。

7、气体侦测系统 全面气体化学管理，TGCM。

在固定区域范畴内，会泄漏的气体，选择相关的侦测器，一般而言，在开放区域进行设立，具体为侦测环境没有泄漏情况。或是在密闭系统中，为侦测气瓶柜与机台内部，在这样的基础上，确保讯号连接到控制室和应变中心。

8、废气、废液 全面气体化学管理，TGCM。

基于制程废气，应分类别进行排放，对于可以回收的废液保持独立配管，利于再次利用，或是委托外部企业加以处理。而废液的利用，以兼容性材质收集容器为核心。

9、教育训练和证照 全面气体化学管理，TGCM。

针对接触化学品的相关人员，在职务更换过程中，加大训练危害常识内容。工作前，原有单位进行安全作业程序教导，确保人员了解危害防范。此外，有机溶剂和化学物质作业人员，必须含有上岗安全证照。

10. 个人防护装备 全面气体化学管理，TGCM。

根据接触到的气体与化学品，对个人防护罩进行选择，比如面罩、防护衣与防护靴等。基于光阻涂布机台保养，保证具备整套有机防护具。而酸槽保养作业，确保具备防酸碱防护具。相关反应腔擦拭保养，利用输气管面罩，或是防护制程附产品。钢瓶在搬运过程中，具备化学防护具的基础上，安全鞋是极为关键的，当对硅甲烷钢瓶进行拆换过程中，将防火手套佩戴其中，防止外泄发挥关闭的作用。

10. 测定作业环境 全面气体化学管理，TGCM。

在作业区域过程中，依据法规规定，定期对化学作业环境化学物质种类进行测定，和相关暴露作业类别结合开来，制定作业环境测定计划，最终进行执行。当结果为异常状态，明确相关对策。

10. 特别体格检查和健康检查 全面气体化学管理，TGCM。

对于一部分人员为特殊类人员，经常会和有机溶解相接触，或是在机台保养中，和化合物粉尘相接触的人员。基于这类人员根据劳动健康法规，检查相关项目。

10. 防止氯气危害 全面气体化学管理，TGCM。

对于呼吸利用的空气供应系统，保证为单独化利用，接头留有明确标识，同时利用专用接头方式人员盲目接触氮气。

14、急救器材 全面气体化学管理，TGCM。

经常储存化学品的这类场所，在周围将冲身洗眼器进行设置，融入到自动检查计划当中。此外，排水确保造成再次伤害，出现的污水可以进行收集，或是将其排入到废水厂中。

15、紧急应变 全面气体化学管理，TGCM。

针对灾害情境进行针对性分析，拟定应变对策，同时加以演练。另外，购置器材，给予一定的维护，确保随时可以利用。

16. 储存要求 全面气体化学管理，TGCM。

1. 从储存方式与方法角度讲，危险化学品储存和国家规定标准相吻合，当存储数量为危险化学品时，在仓库内化学品应为单独存放状态，进行双人收发对于爆炸物品，或是一级遇燃物品与剧毒物品是不能露天存放的。第二，化学品在储存安排，或是储存量上以化学品分类和储存方式为基准。第三，化学品依据其特性进行分区、分类储存。第四，依据库房单位面积贮存情况，进行限高储存。具体而言，从每平米进行计算，储存不能高于0.5吨，分离储存不能高于0.8吨，堆垛也为限高状态，垛底短边和垛高间比例为1:2.

16. 出入库管理要求 全面气体化学管理，TGCM。

第一，对于化学品储存仓库而言，完善出入库台账，对化学品出入品种与数量情况进行记录，确保账与物为一致状态，保证化学品不管是出入具有可控性。第二，基于入库的化学品来讲，具备相关的安全技术说明书，在外包装上，含有相关的名称标签。第三，化学品出入库应保证认真核查，并及时登记。当入库前，对 化学品数量与质量进行检查，检查和采购计划是否为相符状态。如果为禁忌化学品，是否为混存情况。第四，当供应方在化学仓库时，参与供货操作时，应保证供应方了解安全管理告知，并了解安全管理协议，明确具体职责。另外，确保供应方掌握在仓库中应遵守的要求，作为化学品管理员，将现场监督管理落到实处。

结束语： 全面气体化学管理，TGCM。

在半导体厂中，对于化学品而言，具备着理化特性，在储存上和相关物资储存具有较大的区别，对储存建筑物电气室设施与应急设备实施具有一定要求，不同储存物品要求具有差异性。因此，化学品管理储存环节是极为关键的，应保证化学品设施齐全，并且管理人员具备健康的体魄，保证安全储存不会存在事故。

参考文献： 全面气体化学管理，TGCM。

[1]黄崇琦. 半导体厂的气体与化学品管理[J]. 安防科技, 2018, 000(012):30-30.

[2]杨学娜. 危险化学品系统的设计管理[D]. 天津大学, 2019.

[3]张广伟. 关于危险化学品系统的设计管理的研究[J]. 建筑工程技术与设计.

[4]王海彤. 危险化学品安全管理追溯系统[D]. 北京化工大学, 2018.