简介:摘要:碳化硅(SiC)作为第三代宽禁带半导体材料,具有良好的热导性、宽带隙、大击穿电场等优良特性,被广泛应用于高温、高频、大功率等电子器件上。但是由于碳化硅具有很高的硬度和化学稳定性,Si-C键合能较大导致湿法刻蚀无法达到要求,因此针对深孔或高台阶刻蚀多采用感应耦合等离子体(ICP)对SiC进行刻蚀,目前研究人员系统研究了ICP刻蚀条件、气体组成等各种工艺条件对SiC刻蚀的影响;其中镍作为刻蚀掩膜层被广泛应用在刻蚀SiC中,因此镍的耐刻蚀性很重要,在一定程度上决定了刻蚀过程中的SiC/Ni的选择比(SiC刻蚀量与Ni刻蚀量的比值),在同等刻蚀条件下,镍消耗少,SiC/Ni的选择比就高,则所需镍层就薄,从而减少了工艺时间,提高了工艺效率。
简介:摘要:研究和优化了电镀矿渣的样品采集和制备以及电镀矿渣中铜、镍和锌的检测方法。电镀企业一般需要选择大量的重金属作为原料。在电镀过程中,一些重金属进入废水,经过废水处理工序进入污泥,形成电镀污泥。电镀污泥一般含有铜、镍等重金属。如果处理不当,会给土壤和水系带来严重污染,严重影响人们的生产和生活。因此,电镀矿渣中镍和其他重金属的定量和有效监测对于防止和控制重金属污染,并将变废为宝,回收重金属资源是非常重要的。
简介:摘要:电镀工艺作为当今重要的工业技艺,对工业发展具有重要作用,但是我们不能只顾经济发展而忽略了生态环境保护。电镀业的发展会带来有害物质铜、铬、镍、锌等重金属污染物的释放,这些重金属污染物会污染、毒化水资源,严重影响人们的生产及生活。电镀废水由于其生产工艺较为复杂,因此产生的有害物质成分也比较复杂,而其中电镀络合镍废水由于其处理难度大处理成本高而倍受关注。为更好地处理络合镍电镀废水,我们需要明确电镀络合镍废水产生的原因,及其与什么物质发生反应,导致了什么危害物质的产生。我们只有控制这些污染物质的来源,才能有针对性地对其进行回收和处理,并制定严格的排放标准,利用科技手段最大程度减少污染物的排放,从而保护环境,使其不会对环境和人体产生危害。
简介:摘要:本文针对Ferrium 63超高合金钢化学热处理高温氮化过程局部防渗保护问题,开展电镀镍高温防渗保护技术研究。通过对Ferrium 63钢电镀不同厚度镍层,研究高温氮化过程中不同厚度镍镀层局部防渗效果。得出以下结论:电镀镍层具有良好的防渗作用,非渗氮面不同渗层深度的硬度与基体心部硬度相当。渗氮后镀镍镀层无法通过化学或电化学方法退除,可以加大余量法并采用机加方法去镍层。