简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:TheauthorsmainlyconcernthesetUfofc∈Csuchthatthepowerdeformationzf(z)/zcisunivalentintheunitdisk|z|<1foragivenanalyticunivalentfunctionf(z)=z+a2z2+···intheunitdisk.ItisshownthatUfisacompact,polynomiallyconvexsubsetofthecomplexplaneCunlessfistheidentityfunction.Inparticular,theinteriorofUfissimplyconnected.Thisfactenablesustoapplyvariousversionsoftheλ-lemmafortheholomorphicfamilyzf(z)/zcofinjectionsparametrizedovertheinteriorofUf.ThenecessaryorsufficientconditionsforUftocontain0or1asaninteriorpointarealsogiven.
简介:[ 摘要 ] 采用膨胀法,结合金相法,测试了实验钢的临界转变点 Ac1 、 Ac3 及 Ms 点。测定了不同冷却温度下轧辊用钢 的膨胀曲线,得到了该材料的连续冷却转变曲线( CCT )。并根据温度对连续冷却转变过程中相转变的影响进行了探讨。
简介:Quasiclassicaltrajectorycalculation(QCT)isusedfrequentlyforstudyingcollisionalenergytransferbetweenhighlyvibrationallyexcitedmoleculesandbathgases.Inthispaper,theQCToftheenergytransferbetweenhighlyvibrationallyexcitedC6F6andN2,O2andgroundstateC6F6wereperformed.TheresultsindicatethathighlyvibrationallyexcitedC6F6transferredvibrationalenergytovibrationaldistributionofN2,O2andgroundstateC6F6,sotheyareV-Venergytransfer.EspeciallyitismainlyV-VresonanceenergytransferbetweenexcitedC6F6andgroundstateC6F6,excitedC6F6transfersmorevibrationalenergytogroundstateC6F6thantoN2andO2.ThevaluesofQCT,-〈△Evib〉ofexcitedC6F6aresmallerthanthoseofexperiments.
简介:继2005年初推出B-1000f功率放大器后,时隔一年,LUXMAN再推出与之配套的C-1000f前置放大器,设计采用了ODNF高品质反馈电路、选用CI型电源变压器和6600μF大容量电解电容器,信噪比指标十分优秀。此外,C-1000f的线路板的音频信号走线为100μm厚的铜箔,电源连线为6N-OFC铜线,使引线对音频信号影响减至最低。更为特别的是,LUXMAN在设计内部元器件、线路板的摆放时如同CD播放机那样充分考虑了抑震的要求,独特的安置方式使得C-1000f能消除外界大部分有害震动的不良影响,保持最佳的工作状态。
简介: