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  • 简介:阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程,并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻,得到了深度为500μm,深宽比达8.3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时,对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。

  • 标签: 微马达 LIGA技术 光刻 掩膜 电铸 同步辐射
  • 简介:放射源退役是我国辐射安全监管中面临的一个难题.从放射源使用单位和政府部门监管两个角度,分析了放射源退役难的问题.认为用源单位未能合理统筹退役资金安排和使用是其根本原因,它是一个经济问题.我国现行的放射源生产、销售和使用审批与监管制度在放射源退役问题上存在局限性,破解的关键在于引入经济手段来解决经济问题.在综合分析环境污染责任保险概念、起源及其作用的基础上,提出了运用经济手段,建立放射源退役机制的措施和建议.

  • 标签: 环境污染责任险 放射源退役 经济手段
  • 简介:主蒸汽超级管道是核电厂的重要核级设备,申请此类设备的厂家需完成模拟件的试制工作,但目前在国家核安全局发布的《民用核安全机械设备模拟件制作实施细则》中并没有针对主蒸汽超级管道模拟件的试制提出具体的要求.简要介绍了二代改进型核电厂主蒸汽超级管道的技术要求,并结合许可证的审查实践、对模拟件的型式选择、质量管理要求及在制作过程中工艺控制、检验和试验控制等方面给出了一些基本要求,可为主蒸汽超级管道制造许可证申请者及技术审查人员提供参考.

  • 标签: 主蒸汽超级管道 模拟件 许可证 审评